太陽電池関連装置
自社の半導体シリコンウエハーの加工・洗浄プロセスで得られたノウハウを生かし、太陽電池用ウエハーの高品質化、薄型化に対応する装置を開発しています。
■太陽電池用スピンエッチャー PV-MSE
- 太陽電池用結晶系ウエハーを自動的にスピン処理（エッチング、リンス、乾燥）
- カセットは50枚収納1キャリア搬送
- ウエハーサイズ：□156/126mm、ｔ＝100～200μm
- 薬液が裏面に回り込むことなく、表面だけの処理が可能（PAT：W02006/059382）
- 薬液を回収して再利用が可能
- モジュール化することにより処理能力の増強が可能
■太陽電池用酸エッチング装置 PAET-T01
- 太陽電池用結晶系ウエハーを自動搬送により処理（酸エッチング、リンス、乾燥）
- カセットはテフロン製50枚収納1キャリア搬送
- ウエハーサイズ：□156mm、ｔ＝120～200μm
- 薬液を変更することにより酸TEXも可能
- ウエハー押さえ機構：標準装備
- 槽構成を変更することにより処理能力の増強が可能
◎太陽電池用ウエハーの一貫生産ライン
ワイヤーソー後の、粗洗浄からテクスチャーエッチング工程まで、一貫した生産ラインの構築が可能です。
粗洗浄・当て
板剥離装置
板剥離装置
ウエハー
枚葉剥離装置
枚葉剥離装置
仕上げ洗浄
装置
装置
テクスチャー
エッチング装置
エッチング装置
■太陽電池用ウエハー枚葉剥離装置 PVSP-1S
- 太陽電池用単結晶ウエハーをスタック状からセパレートしてカセットに収納
- ウエハーサイズ：□156mm、ｔ＝120～200μm
- 薄物ウエハーも安定的に処理可能
- ウエハー割れ検出・排出機能