薬液供給装置
薬液供給装置は、自社のウエハー加工プロセスから得られたノウハウを設計に展開するとともに、装置自体に求められるさまざまな機能を徹底的に追及した、高品質を実現した製品です。
■ＭＳＰシリーズ
- 高清浄度の薬液をより安全に自動供給
- 薬液使用量に応じたカスタマイズ
- 温度調節機能付きの循環ろ過システム
- 各種センサー（温度・漏液・排気等）による安全確認機能を搭載
- 原液補充方式を選択可能（PEボトル、キャニスター缶他）
- 薬液供給方式を選択可能（ポンプ圧送、N2圧送他）
- 各種薬液に対応
酸（混酸・硫酸・塩酸・フッ酸・過酸化水素水）、アルカリ（アンモニア・苛性ソーダ）、有機溶液（レジスト剥離剤他）、スラリー（研磨材）他