スピンプロセッサー
脱炭素社会への貢献
スピンプロセッサーは、ウエハーを１枚ずつ回転させながら薬液を滴下して表面処理する装置です。この装置を用いて製造されるパワー半導体のＩＧＢＴは、電気自動車やハイブリッド車に欠かせない電子デバイスであり、モーターの駆動やバッテリーの充放電などにおいて重要な役割を果たしています。
製品ラインナップ
■スピンエッチャー MSE シリーズ
- バックグラインド後のシリコンエッチングおよび各種メタルエッチングに対応
- ウエハーの厚みエンド検出機能として IR 方式（リアルタイム）と EL 方式（レート管理）が選択可能
（PAT：JP4364242） - フィンチャックで反りのある薄物ウエハーを安定保持することにより、表裏面の同時リンスが可能
（PAT：JP4625495） - 「ハンギングハンド」で薄物ウエハーの安定したハンドリングが可能
- 効率の良い薬液の分離回収機能
（PAT：JP4257816）
■スピンクリーナー MSC シリーズ
- レジスト剥離、ポリマー残渣除去、金属不純物洗浄等の各種洗浄に対応
- 2流体洗浄、超音波洗浄機能、オゾンを付加
- 表裏面の同時洗浄に対応
MSE4000／MSC4000
- ２チャンバー処理
- ６、８インチのウエハーに対応
- 最大２液の薬液温調回収循環が可能
MSE5000／MSC5000
- ２チャンバー処理
- ８、１２インチのウエハーに対応
- 最大２液の薬液温調回収循環が可能
MSE6000／MSC6000
- ４チャンバー処理
- ６、８インチのウエハーに対応
- 最大２液の薬液温調回収循環が可能
MSE9000／MSC9000
- ８チャンバー処理
- 12インチのウエハーに対応
- 最大２液の薬液温調回収循環が可能