ウエハー搬送装置
通常厚のウエハーから薄物ウエハーまで幅広く対応できる移載機を取り揃えています。
■薄物ウエハー反転移載装置 MTW-82
- 8インチ２キャリア仕様（対応ウエハー厚：150～750μm）
- ウエハーに優しいオリジナルの「ハンギングハンド」を採用（外周4点支持）
- 反転機構は、通常厚から薄物まで安定した反転が可能
- 薄物ウエハーに見られる反り、たわみにも対応（実績値 −5mm）
- 搬送ロボットはダブルハンドタイプを採用し搬送効率をアップ
■薄物ウエハー移載機 MTW-64a
- 6インチ ４キャリア仕様（対応ウエハー厚：100～750μｍ）
- オリフラ合せ機構搭載
■ウエハー収納・取出し装置 WHS-C
- 4、5、6インチ、１キャリア仕様
- サイズ毎に6通りの収納パターンを容易に設定可能