洗浄装置
ウエハー洗浄装置は、自社のウエハー加工プロセスから得られたノウハウを設計に展開した、最高レベルの品質と生産性を実現した製品群です。
■多槽式キャリアレス・バッチ式洗浄装置
- キャリアレス搬送により拡散前洗浄などハイクリーンな洗浄に対応
- 薬液や純水の使用量を大幅に削減
- フットプリントを大幅に縮小
- １バッチの搬送枚数として25枚、13枚、5枚をラインナップ
- 温水引き上げ・ＩＲ乾燥方式（赤外線ヒーター）を採用
- ローダー、アンローダーではFOUP式カセットに対応
■石英管洗浄装置 MQCシリーズ
- 洗浄プロセスの全自動化を実現
- 石英管回転機構を標準装備
- 石英管付属部品洗浄用のアタッチメントを標準装備
- ４、５、６、８、１２インチウエハー向けの石英管に対応