三益半導体工業

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エンジニアリング事業部

スピンプロセッサー

ウエハーの両面・片面を枚葉式スピンウェット処理するスピンプロセッサーは、パターン面の保護なしで裏面エッチングを可能としました。また、処理の難しい薄物ウエハーの加工に適していることから、多くのデバイスメーカー様にご採用いただいています。
デモルームでの評価テストを行い、ニーズに合わせたシステムをご提供します。お気軽にエンジニアリング事業部までお問い合わせください。

■スピンエッチャー MSEシリーズ

●バックグラインド後のシリコンエッチングおよび各種メタルエッチングに対応

●ウエハーの厚みエンド検出機能としてIR方式(リアルタイム)とEL方式(レート管理)が選択可能(PAT:JP4364242)

●フィンチャックで反りのある薄物ウエハーを安定させることにより、表裏面の同時リンスが可能(PAT:JP4625495)

●「ハンギングハンド」で薄物ウエハーの安定したハンドリングが可能

●効率の良い薬液の分離回収機能(PAT:JP4257816)

■スピンクリーナー MSCシリーズ

●レジスト剥離、ポリマー残渣除去、金属不純物洗浄等の各種洗浄に対応

●2流体洗浄、超音波洗浄機能、オゾンを付加

●表裏面の同時洗浄に対応

スピンエッチー用混酸の紹介

■MSE2000/MSC2000

●1チャンバー処理

●4、5、6インチのウエハーに対応

●最大3液の薬液温調回収循環が可能

■MSE3000/MSC3000

●1チャンバー処理

●6、8インチのウエハーに対応

●最大3液の薬液温調回収循環が可能

■MSE4000/MSC4000

●2チャンバー処理

●6、8インチのウエハーに対応

●最大2液の薬液温調回収循環が可能

■MSE5000/MSC5000

●2チャンバー処理

●8、12インチのウエハーに対応

●最大2液の薬液温調回収循環が可能

■MSE6000/MSC6000

●4チャンバー処理

●6、8インチのウエハーに対応

●最大2液の薬液温調回収循環が可能